2024年5月24日 MPS型中速磨煤机起源于德国BABCOCK公司(Babcock Borsig Power System ),我国曾在上世纪80年代至90年代引进了部分弹簧加载和液压定加载磨煤机,目前在我 本文分析了目前碳化硅晶圆划片的几种工艺方法,结合工艺试验和数据,比较各自的优劣和可行性。 其中,激光隐形划片与裂片结合的加工方法,加工效率高、工艺效果满足生产需求,是碳 碳化硅生产工艺流程图
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